
Подробности металлической оболочки сенсора MEMS Прикладной анализ оболочки нержавеющей стали в датчиках MEMS Оболочка нержавеющей стали обусловлена высокой механической прочностью, коррозийностью, сваркой и хорошей электромагнитной защитой. Важную роль играет в закрытых упаковках сенсорных да...
Прикладной анализ оболочки нержавеющей стали в датчиках MEMS
Оболочка нержавеющей стали обусловлена высокой механической прочностью, коррозийностью, сваркой и хорошей электромагнитной защитой. Важную роль играет в закрытых упаковках сенсорных датчиков MEMS (микромеханические системы), в особенности в суровых условиях, таких как автомобильная электроника, промышленный контроль, медицинское оборудование и авиационно-космическая обстановка.
1.Автомобильный электронный датчик Прикладное устройство:
Прикладное устройство:
• Датчик мониторинга шины (TPMS) : нержавеющая сталь защищает от тряски на дорогах и коррозии соляного тумана.
• Датчик давления топлива: химическая коррозия, устойчивая к бензину/дизелю, запечатанная для предотвращения утечки.
• Дизайн инкапсуляции Лазерная сварка для раковины нержавеющей сталии керамическ-доск (Al₂O₃) застря MEMS чип.
2.Промышленный датчик MEMS
Прикладное устройство:
• Прикладное устройство: Промышленный датчик давления: используется для гидравлических систем, мониторинга труб, сопротивления давлению и загрязнению частиц.
• Датчик вибрации: нержавеющая сталь защищает от электромагнитных шумов завода и повышает отношение сигнала к шуму
• Особый дизайн:Силиконовое масло, заполняемое внутри трубчатой раковины (передает давление и блокирует вибрации).
3.Медицинские и био-сенсоры MEMS
Прикладное устройство:
• Датчик давления растительности (например, мониторинг внутричерепного давления) : 316L медицинская нержавеющая сталь обеспечивает биологическую совместимость.
• Эндоскопический микродатчик: поверхность трубчатой раковины отполирована до ра < 0.1μm, чтобы избежать повреждения тканей.
• Совместимость с стерилизацией: Он может выдерживать стерилизацию паром при высоких температурах и высоком давлении (134°C).
4.Воздушно- космический
Прикладное устройство:
• Прикладное устройство: Инерционные навигационные сенсоры (гироскоп MEMS) : нержавеющие оболочки из нержавеющей стали устойчивы к вибрациям, к радиации.
• Датчик высокотемпературного давления:Для мониторинга двигателя используется упаковка из теплостойкой нержавеющей стали (например 310S)
Оболочка нержавеющей стали стала предпочтительным вариантом для упаковки MEMS с помощью механической защиты, герметичной окружающей среды и EMI-щитов.
Особенно в автомобильных и медицинских областях. В будущем, когда MEMS будут развиваться в меньших размерах и более высокой интегрированности, тщательная обработка и мультифункционализация нержавеющей стали станут центром технологического прорыва.